本专业是国家新兴战略产业相关专业，面向集成电路制造、航空、航天、生物医疗、精密仪器、汽车电子、消费电子等领域，培养掌握先进的微电子制造技术、精密机械制造技术、仪器仪表及测控技术、微机电系统设计制造技术，并具备一定的人文社科和现代管理知识的复合型高级人才；毕业生可在集成电路制造、航空、航天、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业及高等院校从事科研、设计、生产等方面的工作。
微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如：微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。 关键词：微传感器 微马达 微型器件 电路
培养目标：本专业主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造，生产运行?科技开发和技术经济管理方面的人才。
培养要求：本专业学生主要学习微机电系统工程的基本知识、基础理论和研究方法；了解微机电系统工程发展方向；具有从事实际工作的基本能力。

《微机电工程材料》、《微机电器件与系统》、《微机械学》、《微纳米测量与测试技术》、《微细加工技术》、《现代传感技术》、《精密工程制造基础和光存储技术》